Tétrafluorure de silicium

Tétrafluorure de silicium
Structure du tétrafluorure de silicium
Général
Synonymes	tétrafluorosilane
No CAS	7783-61-1
No EINECS	232-015-5
PubChem	24556
SMILES	[Si](F)(F)(F)F PubChem, Vue 3D
InChI	InChI : Vue 3D InChI=1/F4Si/c1-5(2,3)4
Apparence	gaz incolore, d'odeur acre[1].
Propriétés chimiques
Formule brute	F4SiSiF4
Masse molaire[2]	104,0791 ± 0,0003 g·mol-1 F 73,02 %, Si 26,98 %,
Propriétés physiques
T° fusion	-90 °C
T° ébullition	-86 °C
Solubilité	dans l'eau : réaction[1]
Masse volumique	1 660 kg·m-3 à -95 °C 4,681 kg·m-3 à 0 °C (gaz)
Point critique	37,2 bar, -14,15 °C[3]
Propriétés électroniques
1re énergie d'ionisation	15,24 ± 0,14 eV (gaz)[4]
Cristallographie
symbole de Pearson	$cI10\,$[5]
Classe cristalline ou groupe d’espace	I43m (n°217)[5]
Précautions
Directive 67/548/EEC[6]
T C
Symboles : T : Toxique C : Corrosif Phrases R : R23 : Toxique par inhalation. R35 : Provoque de graves brûlures. Phrases S : S9 : Conserver le récipient dans un endroit bien ventilé. S26 : En cas de contact avec les yeux, laver immédiatement et abondamment avec de l’eau et consulter un spécialiste. S36 : Porter un vêtement de protection approprié. S45 : En cas d’accident ou de malaise, consulter immédiatement un médecin (si possible, lui montrer l’étiquette).
Phrases R : 23, 35,
Phrases S : 9, 26, 36, 45,
Transport[6]
-    1859    Numéro ONU : 1859 : TÉTRAFLUORURE DE SILICIUM COMPRIMÉ
NFPA 704
0 3 2 W
SIMDUT[7]
A, D1A, E, A : Gaz comprimé température critique = -14,2 °C D1A : Matière très toxique ayant des effets immédiats graves Transport des marchandises dangereuses : classe 2.3 E : Matière corrosive Transport des marchandises dangereuses : classe 8 Divulgation à 1,0% selon la liste de divulgation des ingrédients
SGH[6]
Danger H280, H314, H330, EUH071, P260, P280, P303, P304, P305, P315, P338, P340, P351, P353, P361, P403, P405, H280 : Contient un gaz sous pression; peut exploser sous l'effet de la chaleur H314 : Provoque de graves brûlures de la peau et des lésions oculaires H330 : Mortel par inhalation EUH071 : Corrosif pour les voies respiratoires P260 : Ne pas respirer les poussières/fumées/gaz/brouillards/vapeurs/aérosols. P280 : Porter des gants de protection/des vêtements de protection/un équipement de protection des yeux/du visage. P303 : EN CAS DE CONTACT AVEC LA PEAU (ou les cheveux): P304 : EN CAS D’INHALATION: P305 : EN CAS DE CONTACT AVEC LES YEUX: P315 : Consulter immédiatement un médecin. P338 : Enlever les lentilles de contact si la victime en porte et si elles peuvent être facilement enlevées. Continuer à rincer. P340 : Transporter la victime à l'extérieur et la maintenir au repos dans une position où elle peut confortablement respirer. P351 : Rincer avec précaution à l’eau pendant plusieurs minutes. P353 : Rincer la peau à l’eau/se doucher. P361 : Enlever immédiatement les vêtements contaminés. P403 : Stocker dans un endroit bien ventilé. P405 : Garder sous clef.
Unités du SI & CNTP, sauf indication contraire.

Le tétrafluorure de silicium, également appelé tétrafluorosilane, est un composé du silicium de formule SiF₄ qui se présente sous forme d'un gaz incolore dont la plage d'existence à l'état liquide est singulièrement étroite : entre -90 °C et -86 °C.

Utilisation

En microélectronique, le tétrafluorure de silicium est utilisé dans l'implantation ionique, et, en conjonction avec le silane (SiH₄), pour le dépôt de silice fluorée par PECVD^[8].

Références

1. ↑ ^{a et b} TETRAFLUORURE DE SILICIUM, fiche de sécurité du Programme International sur la Sécurité des Substances Chimiques, consultée le 9 mai 2009
2. ↑ Masse molaire calculée d’après Atomic weights of the elements 2007 sur www.chem.qmul.ac.uk.
3. ↑ Properties of Various Gases sur flexwareinc.com. Consulté le 12 avril 2010
4. ↑ (en) David R. Lide, Handbook of chemistry and physics, CRC, 2008, 89^e éd., 2736 p. (ISBN 978-1-4200-6679-1), p. 10-205 
5. ↑ ^{a et b} The SiF4 Structure sur http://cst-www.nrl.navy.mil/. Consulté le 17 décembre 2009
6. ↑ ^{a, b et c} Entrée de « Silicon tetrafluoride » dans la base de données de produits chimiques GESTIS de la IFA (organisme allemand responsable de la sécurité et de la santé au travail) (allemand, anglais) (JavaScript nécessaire)
7. ↑ « Tétrafluorure de silicium » dans la base de données de produits chimiques Reptox de la CSST (organisme québécois responsable de la sécurité et de la santé au travail), consulté le 25 avril 2009
8. ↑ Tétrafluorosilane, SiF4, Propriétés physiques des gaz, sécurité, FDS, compatibilité avec les matériaux, équilibre gaz-liquide, enthalpie, masse volumique, viscosité, inflammabilité, propriétés de transport, air liquide, consulté le 7 septembre 2009